針對超高真空互聯(lián)應用領域進行專業(yè)設計；
自動化程度高：可實現(xiàn)全自動控制樣品傳送；
位置重復性好：位置重復誤差小于0.2mm；
傳樣機械臂在腔體內可360°旋轉；
整體耐高溫：工作溫度大于150℃；
圓形樣品傳樣腔
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